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原子力显微镜的原理.悬臂拥接触式、非接触式、轻敲式三种!

原子力显微镜是使用凡得瓦力扫描试件，藉由压电材料细微的控制机具移动定位，这种材料受到电压时会延电场伸长的特性，称为逆压电效应，做微量调整，配合雷射干涉仪与模组，重现试片表面结构。

AFM的悬臂拥接触式、非接触式、轻敲式三种，整体而言，原子力显微镜的优点有较佳的水平与垂直解析度，不受材料之性质(是否为导体)、样貌、粗糙度、关键尺度之量测与不受大器与液体内影响，但有测量面积小(10微米)，怕震动等缺陷。