1.表面影像量测
2.表面轮廓粗糙度量测
3.动态表面轮廓
SPM技术可以用于其他的相关应用
1.原子操控术:原子提取, 移动,放置等操控, 可应用于原子等级的加工
2.奈米加工:像是奈米蚀刻与雕刻, 奈米硬度测试
3.动态观测:如结构动态或化学动态观测
眼观测是透过光线在物体的反射而观测, 大约解析程度在10-4m(0.1mm)左右
光学显微镜以可见光为介质, 受到波长较长的限制, 光学显微镜放大倍率最高只有约1500倍(10-7m)
电子显微镜为电子束为介质,由于电子束波长远较可见光小,故电子显微镜解析度远比光学显微镜高。扫描式显微镜可放大到10000倍以上。
纳米检测目前最常用的两大类包括:
1.电子显微镜(EM)
一般常用的包括扫描式电子显微镜(SEM)与穿透式电子显微镜(TEM)及欧杰电子显微镜(表面分析)
2.探针扫描式显微镜(SPM)
其中应用较多的为量测探针与材料间原子力的原子力显微镜(AFM)及侦测穿隧电流的扫描穿隧显微镜(STM)
1.以扫描的电子束打到试片后,侦测二次电子或背向电子的, 称为扫描式电子显微镜SEM, 当物体面较高的, 二次电子较多, 较低处二次电子较少,
故形成黑白的影像
2以电子束打到试片后,侦测材料的特性X光的波长(WDS成分分析)或能量(EDS成分分析)
4.以电子束打到试片后,侦测穿透电子的数量形成黑白影像或侦测X光绕射(EDP)
扫描探针显微镜(SPM)是利用一根极微细的探针(微探针),在极靠近试片表面处对试片扫描, 再侦测探针与试片间的物理特性(如原子力, 穿隧电流, 磁力…)
较常用的扫描探针显微镜如:
1.原子力显微镜
2.扫描穿隧显微镜