精密量具可依其测量对象及特性分为七大类。
1.测量表面与水平
其测量仪具列举如下:
(1).表面粗糙度分析仪(surface analyzer)。
(2).水平仪。
(3).平臺。
(4).光学平板。
2.测量长度
其测量仪具列举如下:
(1).直尺。
(2).内外卡、游标尺卡、测微器。
(3).高度规、深度规。
(4).精密块规。
(5).电子测微器、气压测微器。
(6).指示量表(gauge)。
3.测量角度与锥度
其测量仪具列举如下:
(1).分度规仪。
(2).组合规。
(3).正弦棒、正切棒。
(4).精密角度块规。
(5).三角测量。
(6).自準仪。
(7).光学分角仪。
4.测量轮廓
其测量仪具列举如下:
(1).面积仪(planimeter)。
(2).比较测定仪。
(3).投影放大仪(profile projector)。
(4).真圆度机。
