上海光学仪器一厂-表面分析仪器产品列表
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飞行式质谱仪(Laser Time-of-flight Mass Spectrometer)是一种表面分析仪器。
以脉衝式钕钇铝石榴石(Nd-YAG)电射照射固态试样,使表层物 质汽化及离子化后,由飞行式
质谱仪撷取此物质之组成成份讯息,可即时作析 真空室内之固态试样在二维面上选定位置表
层物质之组成成份,或选定位置 纵深层物质之组成成份。仪器由雷射源、机构主体及电气系
统组成,机构主体包括试样传送器、试样準备室、主分析室及飞行式质谱仪。电射飞行式质
谱仪主要应用于电子、光学及机械材料表面分析(如积体电路、光学薄膜及特殊材料处理等
之分析)。此外并应用于地质学、生物科技、材料 科学、原子科学、微电子学、及分析化学等科学研究领域。
当离子化所形成之光子飞行路径越长,激光质谱仪之解析能力及精度也 就越高。
