原理是将不聚焦的光源照射在整个样品上,利用电子光学透镜收取样品上某定点所放出的所有光电子,
接着改变电场收取不同点之光电子,比较其不同的光电子产量所形成之对比来显像。因电子透镜聚焦的性能可达纳米尺度,
解析度可达 2-5 纳米的 PEEM 系统。其解析度约在 40 纳米左右。但一般此类仪器无法分解光电子的能量,因此所能获得的化学讯息极为有限。
然在操作应用上相对地较为简易,亦既可用可调波长的光源(从
紫外线至 X 光能量范围),
以表面吸附物引起的功函数变化或化学元素不同的吸收光谱来取得对比以及表面分佈的影像