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利用TEM 电子显微镜来研究薄膜沉积厚度

扫瞄式电子显微镜实作训练

利用TEM来研究薄膜沉积厚度,可印证出沉积层数,分别可了解相同溅镀条件之下薄膜沉积速度及厚度与沉积层数。

TEM图中显示出碳黑与碳黑披覆铂触媒之微观结
构与分佈状态,与不同碳黑与Clay比例所制备之触媒载体,由场发射式扫瞄式电子显微镜

(field-emission scanning electron microscope,FESEM)所拍摄之表面形貌了解不同比例的clay,

 所造成碳黑分散程度及分散后的碳黑颗粒大小