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利用TEM 电子显微镜来研究薄膜沉积厚度

信息分类：生命科学资讯　　　　作者:YIYI发布　

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扫瞄式电子显微镜实作训练

利用TEM来研究薄膜沉积厚度，可印证出沉积层数，分别可了解相同溅镀条件之下薄膜沉积速度及厚度与沉积层数。

TEM图中显示出碳黑与碳黑披覆铂触媒之微观结
构与分佈状态，与不同碳黑与Clay比例所制备之触媒载体，由场发射式扫瞄式电子显微镜

（field-emission scanning electron microscope,FESEM）所拍摄之表面形貌了解不同比例的clay，

 所造成碳黑分散程度及分散后的碳黑颗粒大小
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