电子
显微镜是以电子取代光波作为照明光源,以电磁透镜替代玻璃透镜來
偏折电子,所以必须在强大而稳定的电压与电流及极高的真空度下才能正常运
作。当电子撞击在标本上,如果标本很薄,电子可以未碰到任何障碍而直接穿
过标本,即是穿透电子(Transmitted electron);如果电子撞击到标本成份
原子的原子核,因为电子和原子核质量相差太大,电子会反弹或偏折,反弹出
來的电子称做背向散射电子(Backscattered electron),而偏折的电子称做
散射电子(Scattered electron);假如电子撞击到标本成份原子外围环绕的
电子时,除电子本身发生偏折外,被撞击的电子也可能因此而脱離原子,此种
电子称作二次电子(Secondary electron);当电子被撞離其原來的电子轨域
时,其他能阶的电子会补足过來,这种能阶上的变化会释出能量,随着原子序
的不同,不同的能量放出不同特定波长的 X 射线。这些电子和 X 射线,就是各
种电子显微镜呈像的依据;穿透式电子显微镜(Transmitted Electron
Microscope, TEM )是以穿透电子來呈像,而扫描式电子显微镜(Scanning
Electron Microscope, SEM )则是利用二次电子或背像散射电子來呈像,因
不同原子序原子放出不同波长 X 射线,所以可利用其作为样品成份元素分析
电子显微镜的构造複杂,操作上较
光学显微镜困难,因此必须具备熟練的
技巧以及精确清晰的校正能力;
由于观察的目的在超微细构造,而样品处理的
好坏亦会影响观察的清晰度。所以学习制作好的样品、电子显微镜的熟練操作
技巧以及校正能力,甚至纯熟的暗房操作技术