SEM扫瞄电子显微镜和STM显微镜相比较有什么特点
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
SEM扫瞄电子显微镜和STM显微镜相比较有什么特点
STM和同样具有原子解析能力的显微技术SEM（扫瞄电子显微镜）相较之下，
主要有以下的优点：
1. STM 具有将近 0.01nm 的解析度，SEM 则不太能分辨 10nm 以下的高度差。
2. STM 扫瞄样品不需加以处理，观察方式上没有限制。但对 SEM 来说，非金属样
品需事先处理（如乾燥、镀上导电薄膜），而像生物分子这一类的样品经过这些程
序处理后，往往会改变其原始状态。
3. STM 的扫瞄方式对样品而言不具破坏性，也可以在真空、空气、水溶液等各种环
境下操作，限制很少。而 SEM 的高能量电子束对某些样品（尤其是脆弱的生物分
子）具有破坏性。
4. STM 造价低于 SEM，体积小、设计弹性高，易与其它系统整合。
但STM亦有使用上的限制，例如对于不导电样品或表面高度落差过大的材料不适
用等等。而且扫描速度仍比不上SEM，产品成熟度及稳定性也还不够；不过这些主要
是由于STM技术发展时间尚短，因此商业化产品近数年才出现
本文由出自上海光学仪器厂，转载请注明
