扫描热导显微镜的探针的设计有多种，包括侦测系统在AFM悬臂上的浧茼r形尖端、直径约一微米的Pt/Rh(90:10)金属线、
或是整合侦测系统在AFM的探针尖端上。由于扫描热导显微镜的探针是种电能转换器，
所以待测试片表面必须绝缘，以防止探针上的侦测器短路。此外，为了避免试片表面粗糙而影响解析度，
一般会将试片表面以机械研磨抛光，再清洗后，才作扫描热导显微量测。
各种扫描式探针显微镜的探针设计及侦测系统的发展，强烈影响其应用范围与可行性；
本文所说明的三种衍生的扫描式探针显微技术的关键就在于探针设计及材料的选择，
侦测系统的在软体及硬体上的整合，配合适当的理论模型与模拟计算，
甚至在欲测试片的制作及处理上都十分重要，且亟待更多的研发与改进。
