例如电压稳定度、离焦、透镜像差、电子束的分布函数、量测的重複性及再现性等。
针对在使用电荷耦合
元件取得影像后,于影像处理软体中进行量测时由影像画素所造成的不确定度进行一系列探讨。
在影像处理软体中,有三种主要量测工具,其分别为line ROI tool、line profile tool与line tool。
在评估之后,其结果显示以line profile tool进行量测,可获得最小量测不确定度以及最低扩充不确定度百分比。
之后,便比较于真实空间中与倒置晶格空间中,由软体最终所得之影像其影像画素对于量测时的影响,
比较后发现,在降低扩充不确定度百分比时,真实空间与倒置晶格空间两者可达到近似的结果