声栅扫描的特点
元件长度决定视野大小-解像力可到微米
因为声波已经快速地在一个方向(沿晶轴方向)扫描了,只要在另一水平面机械式的移动受测物,
就可得到二维的照射而产生二维的影像了。因为扫描有一个方向很快,
另一个很慢(称为Raster scan),所以它的扫描和一般电视扫描格式相当,因此可直接以电视扫描方式将影像显示在萤光幕。
这种利用调频表面波和週期性平行槽碰撞而达到声波聚焦与扫描的元件,我们称为声栅扫描器(grating acoustic scanner)。
它具有的特点可归纳为:
一、能产生宽波宽的非线性调频波形,因此其对应之镜窗很宽,
二、其焦距可由频宽与波宽比来调变,
三、具有以电子方式扫描与聚焦的能力
四、平面结构,受测物很靠近元件底面,减少声波行进距离,减少衰减,
五、元件长度决定视野大小,容易获得宽广视野。我们曾经在低频波段测试此类元件之可行性,
使用声栅扫描器在3MHz所摄得的即时影像,它表示一複层材料黏贴不良之缺陷。
利用积体电路制作技术中之光刻技术,操作频率在GHz波段的元件可以达到,其对应解像力在微米范围