光学显微镜倍率为(×100)的物镜观察样品表面的成像
首先,激光光先藉由分光片(beam splitter) 通过长工作距离的显微镜物镜而聚焦至样品上。
若使用倍率为一百倍(×100)的物镜,聚焦后的激光光点大小约为1 μm。样品被激发的萤光经由原路径由同一物镜蒐集,
最后再以一聚焦透镜蒐集进光谱仪。在此光路径中,可以利用一分光片,
将样品表面的影像成像于目镜或电荷耦合
元件(Charge Coupled Device, CCD)上;藉此,
可以调整激光光点与样品表面结构之间的相对位置,进而量测不同位置的μ-PL光谱。
根据量测需求,光谱仪可挑选合适的光栅。一般常见的有光栅有三种规格,
分别为600、1200、1800 g/mm(每毫米中的条纹数)。最后光谱仪的出口处,
可采用光电倍增管或CCD侦测不同波长的萤光强度。由于某些样品需在低温的情况下才能侦测到萤光讯号,
因此μ-PL可搭配开放式低温系统,利用连续流入的液态氦将样品温度降低,在最低可达4.2 K的环境下
进行μ-PL光谱量测。此外,为了进行萤光光谱的偏振光分析,也可利用二分之一及四分之一波长波片(waveplate)
和偏振晶体,并将其架设在进入光谱仪前之光路上。接下来,我们将分别叙述μ-PL在量子点及微共振腔之应用实例