扫描电子显微镜得材料表面形貌与其对应的电流影像
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
扫描电子显微镜得材料表面形貌与其对应的电流影像
半导体工业的发展日进千里，尤以元件尺寸的微缩速率更超出原本预期提早达到物理的极限，
且同时也产生像短通道效应等的不理想现象，因应的解决方法除了制作超浅接面之外，近来备受注目的就是闸极氧化层的薄化。
然则在传统电性分析方面却越来越无法满足纳米等级的检测要求，如分析氧化层上易于产生电性崩溃的区域，
因此应用于电性分析的扫描探针显微镜(scanning probe microscopy)便逐渐受到产学界的重视，
而其中的扫描电流显微镜(conductive atomic force microscopy)
不仅拥有高讯号灵敏度与高空间解析度等优点，也能同时取得材料表面形貌与其对应的二维电流影像资讯，
并可针对特定区域进行电流-电压曲线分析，
在高品质超薄闸极氧化层的鑑定上更可提供有效的帮助。近十馀年来，扫描电流显微镜的发展快速，
1998年由A. Olbrich等研究人员将扫描探针显微镜搭配上导电探针利用Fowler–Nordheim(F-N)
穿隧电流机制检测试片电流特性之后，扫描电流显微镜也发展出越来越多的应用，
例如分析量子点电流路径、特定小区域的崩溃电压]以及试片缺陷分布，
最有趣的应用之一便是探讨试片于不同电压下其电流分布图形，藉此有效分析出试片材料本身特性。
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