晶粒细化
微金属成形系统受诸多参数影响,其中晶粒尺寸与制程特性之关系受到广泛研究。研究指出,金属晶粒的几何形状、
大小与结晶方向等,对材料的机械性质影响至巨。当材料内部晶粒被细化到一定的尺度时,
其机械性质与物理特性与传统方法制备的材料不同,如常温下的超塑性、强度增加、硬度值提高、与成形性之提高等。
以传统的制程观点而言,大晶粒尺寸之材料其硬度较低,且成形性较佳;小晶粒尺寸之材料硬度与强度相对较高,
不利于成形制程。然而,对微金属成形而言,晶粒尺寸较小之材料反而有益于微小特征处之模穴充填,
有利于微小或複杂
元件之成形。因此,材料之晶粒大小与成形特性之关系引起相当广泛的重视与研究。