无孔径近场扫描式光学显微术之讯噪比评估
近场扫描式光学显微镜提供了空间解析度小于绕射极限的光学资讯
,
而光纤式近场扫描式光学显微镜由于光纤易受到其截止效应、热伤害等现象影响到其解析度,
故发展出了无孔径的近场扫描式光学显微镜。
研究目的在于以原子力显微镜为基础,建立一套无孔径近场扫描式光学显微镜,
藉由自差式干涉与外差式干涉技术的使用撷取光学讯号。
而撷取的光学散射信号包含了探针与奈米结构交互作用的近场光学信号以及结构表面散射等作用产生的背景信号,
将此信号经过锁相放大器之解调变以获得奈米结构的近场光学资讯。
藉由资料撷取卡或数位信号处理器嵌入式系统做为控制核心,
整合周边的操控
元件,并对此系统目前的稳定度进行校正以及针对量测得到的实验结果进行讯噪比之评估