当铜的测试状态为研磨,于含9 vol% H2O2 + 1 wt% Al2O3的研磨液中,铜的研磨速率约为51 nm/min,
且研磨后的表面粗糙度由经800号砂纸研磨后的104 nm降至3 nm;添加0.0078 M的柠檬酸于上述研磨液中,
铜的研磨速率提高至约为1045 nm/min,而且研磨后的粗糙度也维持在2 nm。
研磨速率增加是因为柠檬酸错合铜离子所造成;表面粗糙度降低的原因则是Al2O3粒子能加速表面凸起处的移除,
以及H2O2能使铜的氧化膜于表面凹陷处生成,并且保护基材,减少化学侵蚀或是机械作用对它的损害所致。
另外,提高柠檬酸浓度至0.5 M,研磨速率会提升至约5522 nm/min,研磨后的粗糙度也增加至约352 nm。