利用一阵列式检光感测器对于表面光散射做纪录分析。散射光能量及角度涵盖量
会随着表面粗糙度的变化而改变,表面粗糙度越大,散射光的能量也越大,
涵盖角度也会变大。实验的设置乃根据反射定律决定光源、受测物与感测器的相关
位置如图2,入射角与反射角相等;因所针对的试片为金属,属于不可穿透之
元件。
将光阵列感测器(S5668)设置于反射端,以反射光束为中心校正感测器的相关位置,
取量测距离(反射光束至感测器距离)26mm,固定感测器与试片的角度,
得知入射光经表面粗糙度所反应出的光散射效
应,并了解入射光的角度会对散射特征产生改变之情形为何。感测器夹持工具为
三轴且可旋转之平台,精度达0.01mm、1°;而工件夹持为一旋转平台,
可以随机且精准的校正彼此的相关位置。实验系统架设于精密光学桌上,
并以遮光布帘遮盖,以避免外界低频振动、光害等影响。将感测器上获得的光反射
与散射能量透过类比转数位转换送交撷取卡,再由电脑读取。以LabView软体设计撷
取、储存操作介面。再将储存的档案以数值分析软体开启,建立起图形分析。
系统元件取得容易,且实验架构具有可调性、可靠性、精密度与便利性,
针对平面元件的量测,皆可有效的利用