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微电子元件的应用-微机电(MEMS)之体型微加工技术

微悬臂樑感测是目前生化、生医之热门微量侦测技术之一。

利用矽在DRIE的等向性蚀刻的特性，以微机电(MEMS)之体型微加工技术在n-type的SOI晶圆制作出悬臂式的结构，

再以离子植入将硼doping在结构上。将压阻佈局成惠司通电桥平衡的方式，再

加入杂讯、自我温度补偿和自我校正功能，就可完成一个微流量感测器(Sensor)以进行测试。

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