为提升量测系统的精度,因此在本研究中导入次像素
的方法,利用抛物线曲线分布分析的方法来精确得到影像
中光栅条纹之灰阶分布的最低位置。利用此方法所得的光
栅条纹骨架将比用二值化后的影像再做细线化处理的光栅
条纹中心位置还要来的精确许多;最后并利用多项式回归
的方式,克服由抛物线曲线分布分析的次像素方法中所产
生的抖动,如此更加精确的得到条纹的中心座标。
在高度的量测及重建上,利用光栅投影系统撷取光栅条纹影像,
将撷取进来之影像利用次像素的方法来分析条纹、量测透
镜高度、量测透镜曲率及重建透镜的三维轮廓,其所需耗
费之时间仅需1 秒即可完成,由此可知,本系统具有高速
量测的优点。经由实验可知,本系统利用次像素及多项式
回归的方法来量测物体的高度,量测精度可达1-2 μm,由
此可知本系统具有高灵敏度的优点