扫描电子显微镜可用于分析陶瓷微观结构
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
扫描电子显微镜可用于分析陶瓷微观结构
针对以上的问题要解决，就必须从定位系统整体架构上着手，基本上完整的
定位系统架构包括了致动器、传动元件、导引元件、位置感测器与位置控制系统。
而要达到扫描探针显微镜的定位需求，在定位精度(accuracy) 、重复性
(repeatability)、及解析度(resolution)都必须要求在10 nm 到0.1 nm 之间，对于整体
的定位系统中每个组成的元件，都要有严格的精度要求。另外造成定位误差的因
素，除了定位系统本身的因素外，环境的因素也相当重要，其中包含了振动、温
度变化、摩擦、磨耗、迟滞效应与电控讯号杂讯，因此在设计定位系统时，就必
须依照这些误差因素的特性，找出解决的方案来降低这些因素所造成的定位误差。
所以达到扫描探针显微镜的高解析度、长行程定位，可以考虑的定位系统架
构大致上有以下的方式:
1. 压电陶瓷驱动平台(Piezoelectric-driven stage)。
2. 纳米级定位平台(Nano-positioning stage)。
3. 双平台定位系统(Dual-stage positioning system)。
首先就压电陶瓷驱动平台而言，虽然可以应用各种机构设计方法来加大压电
陶瓷驱动平台的行程，但如此会使得平台的解析度降低，目前解析度最高的压电
陶瓷驱动平台，最小的步距可以小于0.5 nm，相当于5 个原子的大小，不过行程
只有 10 μm 上下。但是如果加大了平台行程到50 μm，则最小的步距可就只能有 5
nm，如果再加大行程到mm 等级，则最小的步距也会随之放大到10 ~ 50 nm，这
样的解析度，对于扫描探针显微镜整体的扫描结果，是有着相当大的影响
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