不同浓度制程之表面形态比较
利用浓度改变来观察蚀刻后金字塔的表面形态,制定参数如下:
1.蚀刻液(KOH)之浓度:0.5、1、2%
2.反应时间:10 分钟
3.反应温度:70℃
4.间隙距离:未控制(矽晶片贴于金属网上)
5.网目孔洞大小:2mm
在实验中,我们最初对蚀刻液浓度做讨论,
利用光学显微镜以1000x观察其表面形态,
当KOH 浓度为1%时为实验中之最佳参数,而浓度降为0.5%时,
我们看到虽有金字塔结构产生但反应速率降低,又将浓度提高为2%时,
几乎没有结构的生成,如果再提高浓度则为抛光作用。所以在往后的实验中我们将KOH蚀刻液的浓度固定为1%。