金属镀膜测量显微镜-镀膜玻璃硬度测试硬度计
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
应用于大尺寸化制程技术之液晶平面显示器驱动电路层电极与导线材料
用的铝合金靶材需具备导电率高，与SiO2或玻璃等材料之附着性佳，耐电致迁移能力佳，
可抑制空洞（void）与溅镀凸起小丘（hillock）形成，并易于镀膜化和价格便宜等要求；
因此结合靶材之真空熔炼制程与合金材料系统之开发设计，
以开发具有高纯度、尺寸大型化、一体成型与可回收性等要求之铸锻型低价格
TFT-LCD电路层材料用的铝合金溅镀靶材制程与合金系统
探讨不同钪元素含量添加对二元铝-钪合金溅镀靶材与添加第三元素铷对铝
-1wt%钪合金溅镀靶材之显微组织，析出相组成成份与相变态行为及其溅镀薄膜之电性质、
热性质、光学性质与薄膜表面状态的影响。
进一步与现有商用之铝-铷合金靶材系统作一比较。研究结果显示微量合金元素钪
对于Al-Sc合金靶材而言为一有效之晶粒细化剂与调质剂，
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