荧光显微镜观察和分析玻璃片上真空蒸镀铬膜特征
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
荧光显微镜观察和分析玻璃片上真空蒸镀铬膜特征
灰阶光罩的种类
灰阶光罩依制作的方法可分为下列四种：
A.半色调网点法(Halftoning)
如同一般的光罩制作流程，在镀铬膜的石英机版上制作比最小曝
光线宽还小的通光网点，以网点分布的密度作为调变灰阶的方法。
B.薄膜涂布法(Thin Layer Coating)
此法制作光罩的主要有两个步骤：
1.以热蒸镀的方式将镍（75％）、铬（16％）、铁（5％）合金镀于
石英基板上约数个纳米的厚度。
2.经由曝光、显影后利用拨脱技术（Lift off）完成光罩表面之灰阶
结构。
C.运用对高能束敏感玻片(High Energy Beam Sensitive Glass，HEBS Glass)
HEBS 玻片是美国 Canyon Materials 公司于公元 1983 年所发展出
来的。HEBS 玻片是以包含碱金属离子(AlkaliIons)的锌硼硅玻璃
(Zinc-Borosilicate Glass) 为基版材料，在此玻璃基版进行离子交换过
程。在摄氏 320 度的高温之中，硝酸银溶液中的银离子与玻璃基版上
的钠离子交换，在玻璃表层形成 3μm 厚的卤化银分子(Silver-Halide
Complex)。离子交换过程结束后，还需要掺杂抗光材料(Photo-Inhibitor)
如二氧化鍗(TiO2)、五氧化二铌(Nb2O5)、三氧化二钇(Y2O3)等，此抗
光材料系增加玻璃上卤化银对光的能隙，限制其只能与高能光束产生
作用，如电子束、激光束等
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