加工表面的表面粗糙度测量轮廓测量仪器
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
加工表面的表面粗糙度测量轮廓测量仪器
线放电研磨加工法(Wire Electro-Discharge Grinding，简称 WEDG )
的发明，得以在制作微细工具电极时，精度大为提升，加工尺寸亦更
能趋向微小化，使得微细加工技术迈入新的里程碑，奠定了微细放电
加工的基础。然而以微细放电加工法制造的微孔，孔璧表面仍会散布
着放电坑，布满着各种微气孔及微裂纹，严重影响微孔内壁表面的品
质，况且放电时电极的消耗，会使工件的入出口产生锥形状，
这些因素不仅会造成加工表面的表面粗糙度不佳，工件尺寸精度及形状精度
不良，更易造成疲劳破坏，使得机件使用的寿命缩短，所以微细放电
加工后之表面通常需要进一步后处理才能满足实际应用的需求，因此
有必要结合其它的微精密研磨加工技术，来提高孔洞的加工精度。
本论文即结合微放电与研磨之加工技术，针对放电加工后之微孔
进行改善，包括加工面的表面粗糙度、工件尺寸精度及几何形状精度等
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