电弧离子镀元件表面粗糙度测定光学仪器
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
电弧离子镀应用于传动元件之耐磨性研究
其中发生反应的可能控制机构主要分为：
1. 热力学控制(Thermodynamic control)机构：
当沉积速率等于反应气体输入质量速率，发生于非常低的平均
流速，或高沉积温度的情况。
2. 表面动力控制(Surface kinetic control)机构：
当沉积速率比反应气体输入质量速率及反应气体通过边界层的
质传速率慢时发生。
3. 质传控制(Mass transfer control)机构：
当沉积速率比反应气体通过边界层的质传速率快时发生，通常
是发生于高温和高压的情况下。
4. 孕核控制(Nucleation control)机构：
在反应气体的饱和浓度相当低时，沉积速率由此机构所控制。
由于极低的平均流速和极低的反应气体饱和浓度皆不易达到，所以
质传控制和表面动力控制是主要的成长控制机构。在低温时，反应活化
能较高，成长速率对温度敏感性较大，主要是由表面动力机构控制。而
高温时，表面反应速率太快，以致气体反应来不及补充至试样表面，此
时则以质传控制机构为主
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