扫描电镜的分辨率与透射电镜相比较要低一些
众所周知,扫描电镜的分辨率与透射电镜相比较.固然要低一些。
但是,从它拍摄到的显微照片来看,常富有立体感。这在研究某些
腐蚀处理样品表面和具有多棱角、多气孔特征的显微结构时,
尤有它的优点。值得指出,目前有许多扫描电镜常常有多种其他功能.
如作微区元素定性或半定量分析的探针能谱仪,或者附有电子探针
可配合扫描二次电子象,拍摄相应区域内的背散射电子象。
或通过波谱仪作探针线扫描,从某元素的特性扫描曲线上探知
该元素在不同微区内的含量高低。如果配以标样比较分析.
还可以取得元素的定量分析结果,从而给出显微结构中
某种物相在特征部位上的重要数据。