目前已应用到颗粒物中的微量分析技术包括:用于颗粒物微观形貌研究分析
的电子显微镜技术、用于微区成分分析的微探针技术和飞行时间质谱技术等。
其中电子显微镜技术包括扫描电子显微镜技术(SEM)、透射电子显微镜技术
(TEM)和原子力显微镜((atomic force microscope, AFM);
微探针技术包括扫描质子微探针分析(SPM)、质子微探针(PM)、扫描质子微探针
(SPM)、核子微探针(NM)、扫描核子微探针(SNM)等;
飞行时间质谱除了前面介绍的飞行时间质谱(TOF-MS),
还包括飞行时间二次离子质谱(TOF- SIMS)等。