相位检测显微镜(PDM)也指相位图像术,是用于测量机械的 和化学的表面性质,例如,弹性、猫性、摩擦力或猫弹性的
一种技术。
当仪器在任何振动悬臂模式中操作时,可产生相位感测成像
例如,非接触式原子力显微镜、间断接触式原子力显微镜或
磁力显微镜模式。应用力调制显微镜(FMM)可采集相位
检测信息.相位检测指的是对驱动悬臂振动的信号与悬臂振动输
出信号之间的相位延迟的监视。相位延迟的变化反映了样品表面
机械特性的变化。
常见的系统反馈回路的操作方式是,利用悬臂偏转或振动的
变化来测量样品的外形。
当外形图像成像时,监测相位延迟,以至外形图像和原材料特性可同时
被采集。相位检测的一个应用是可获得样品材料特性的信息,
这些样品的外形测量用间断接触式原子力显微镜比用接触式
原子力显微镜效果更好