光学显微镜的极限分辨率在很多场合受到限制,在微电子学尤为明显。微小
的电子器件需要了解更精细的细节,有时就只有采用比光学显微镜分辨率更好。
的电子显微镜。透射式电子显微镜(TEM) 首光用于生物学,后来又逐渐用用
冶金以及其它领域,
透射式电子显微镜是一种很有用的仪器,具有两种通用特性: 一是在高放大
倍数下具有好的分辨率; 另一是能产生电子衍射,这种电子衍射能像识别
元件一
样,观察研究晶体材料。这两种特性在环境控制研究方而都是很重要的。
透射式电子显微镜
其放大倍数可达500 -100000 x 左右,并具有低至5 埃的极限分辨率。除高
分辨率外,这种显微镜还具有很大的景深。在光学显微镜中大的景深取决于小的
孔径数,而分辨率却与波长成反比。
在透射式电子显微镜中,将很薄的样品放在样品台上,电子束经过聚光透镜
会聚其上,一部分电子穿过样品,有的被吸收,有的则衍射至显微镜光轴外,那
些穿过样品的电子将在物镜的后焦平面上成像。