显微镜检验产品或过滤面是测量粒子污染最有效的方法,
但是,如不采用自动化,这些方法就既繁琐,又浪费时间。
自动式科研级显微镜的研制成功使瞬时测量成为可能,气体的物质粒子
含量降到0.3微米,液休降到2微米。当然,由这类仪器所取得的
表面洁净度的资料是第二手的。可以这样假设:如果产品只是在
洁净环境中暴露,那么,从该环境落到产品表面的粒子数为零。连
续监视产品周围环境,对引起产品表面污染的环境洁净度进行瞬
时识别。光散射粒子计数器可对长时间特定位置作连续自动监视。
所得数据的分析只是一项必要工作。由于光散射粒子监视器
很重要,并且应用广泛,所以将详细地讨论这类设备。对测量气体
中粒径小于0.3微米的两种仪器进行简要评述。