在扫描电子显微镜研究中最使人感兴趣的信号,是电子束轰击样品所激发出来的次
级电子和背散射电子。当发射电子打到一个很小的面积上时,激发出的次级电子和背散
射电子信号,将随该面积上表面形貌的不同而变化,从而给出一个分辨率很高的图象。由
于扫描电镜的景深较大,加上次级电子衬比的屏蔽效应,因而还可获得样品的三维图象
利用三维图象已能对微化石、矿物的晶体形态,多孔岩石的结构,
和矿物形变的微细特征等进行鉴别和描述。扫描电镜装上作X射线能谱分析的固体探测
器之后,就可对所鉴定的样品作定性和半定量的成分分析,使矿物的鉴定更加准确可靠。