当材料样品厚度小于入射电子的有效穿透深度时,还会有相
当数量的电子透过薄样品而成为透射电子,透射电子显微镜(
(tunnel- ing electron microscope ,TEM )就是利用这种电
子工作的。
可以利用直接透射电子获得样品的明场透射电子显微图像
(bright field TEM image)、或聚焦得到反映样品品体结构信
息的电子衍射图样(elec- tron diffraction patten ),也可
利用弹性散射电子获得样nnn 的暗场透射电子显微图像(dark field
TEM image ),而利用透射非弹性散射电子包含的能量损失信息
可以检测微区样品的化学组分。
因此,材料样品的形貌、结构和成分等信息也可在现代透射
电镜中同时获得。透射电镜比扫描电镜分辨率和放大倍数高,不
过,其操作较复杂,样品制备也繁复。