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扫描电镜优于光学显微镜的特点能提高约20倍分辨力
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扫描电镜优于
光学
显微镜
的特点能提高约20倍分辨力
扫描电镜有许多优于光学显微镜的特点,比如能提高约20倍的分辨力,能产生更通
真的图像,但如果想具有电子分辨率的全部优点,则需要使用透射电镜。透射电镜所用的
电子束能穿透样品,其成像原理是基于与复式光学显微镜相同的方式—散射电子,而且
如果使用暗视野TEM可能会获得更高的反差效果。为获得良好的分辨效果,制备TEINI样
品时需要制成很薄的切片。最佳的薄片厚度范围是60-120nm,样品制备主要采用三种基本方法
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