微器件（毫米以下纳米以上）的尺寸,微装配辅助显微镜
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
微器件（毫米以下纳米以上）的尺寸,微装配辅助显微镜
微器件（毫米以下纳米以上）的尺寸效应，给微装配带来以下的
困难：
（1 ）由于器件的尺寸减小，重力的影响下降，静电力，范德化
力和表而张力占统治地位。特别是表面张力，当操作手爪接近微器件
还未与之接触时，该力使微器件跳起并吸附在手爪上，而当手爪释放
器件时，该力使器件不能释放，从而破坏了微装配的定位精度。
（2 ）由于微器件的重力影响下降，微装配时不能形成有效的力
反馈，从而在装配时很容易换坏易碎的微器件。
（3 ）由于微器件的尺寸很小，它的制造误差也更小，通常是亚
微米或纳米级的，这就给装配时的定位精度提出了很高的要求。
为了克服上面的困难，微装配一般采用显微视觉对操作机械手进
行闭环控制。机械手的末端执行器上装有微力传感器构成力的反馈。
在待装配器件没有接触时，利用视觉进行引导，而当器件接触时，采
用力反馈控制精密装配。
本文由出自上海光学仪器厂，转载请注明