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晶圆表面光源分析用光学图像显微镜

信息分类:生命科学资讯    作者:YIYI发布 

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晶圆表面光源分析用光学图像显微镜

发光源的模糊

    发光源较小时,其象面基本上呈现出点列图的形状以及
光源本身的分布特性,因此,即使存在象散和彗差,也可以看
到其象面情况与设计值的对应关系是相当好的。当光源变大
时,光源上各个点都表现出和点列图相同的象,其集合构成
了整个边缘的模糊。例如,夜晚远处的圆形光源成象时,在
象面上能直接看到彗差和象散的形状。

B具有不连续特征的被摄物体的模糊

    在被摄物体一侧,对景深范围之外的被摄物体经物镜成
象后,在共感光胶面上总要呈现出某种模糊的现象。为了避免
这种模糊,要么充分地缩小光圈;要么采用调焦在超焦点处
的方法。但是,有时在拍风景照片时,需要突出的景物有好几
个,或者以人物为调焦目标时,其它景物有可能产生模糊。
这时,若再考虑被摄物体象的位置和距离时,点列图如何变
化,边缘响应函数怎样,边缘模糊是如何影响的等等,这些
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