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机械轮廓仪有哪些不足的之处-光学分析显微镜

信息分类：生命科学资讯　　　　作者:YIYI发布　

反映整个三维粗糙度表面有全貌。

由于机械轮廓仪方法的上述不足。人们对开拓光学技术来测量表面粗

糙度已进行了实质性的探讨，

从各种不同的观点对干涉测量及散射法广

泛地进行了研究。后者是基于贝克曼的理论以测量条纹对比度为基础的

干涉测量法，

要求表面粗糙度的高度小于一个波长，因此在应用上受到

限制。另一方面，对于光散射法，除了上面的限制外，

一般说来还要求

表面高度分布呈高斯型，表面高度自相关函数呈高斯型，因此，光散射

法在应用上受到相当大的限制。

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