显影工艺-显影液的温度控制精度为±0.1℃
浸泡法显影工艺一般用手动控制,因此重复性和均匀性不够
理想。从生产量和成本的角度来分析,机械化浸泡显影工艺比较
理想。另一种控制精度更高的显影工艺是自动喷射显影,所用的
设备本章已讨论过。用自动化系统显影版子之前,通常要确定最
佳显影条件,包括时间、温度和浓度。当然还可以用低显影速率
的显影剂,延长显影时间来达到高水平的控扭。在机械化浸泡显
影工艺中,显影液的温度控制精度为±0.1℃。只要能精确地控
制好样品槽内显影液的变化情况,及时修正,那么这种显影方法
的稳定性比喷射法和搅拌法显影工艺都好。如果提高技术标准和
改进喷射显影设备的温度控制精度,用循环的精密数字定时器和
低压喷嘴能获得稳定性更高的显影工艺,而且可以完全排除人为
的影响。二显声设备中,一显影速率监控装m和激光终真检查装置的
使用将便豆鲜控制神库提高到一个新的水平