目前仪器最佳分辨本领只有100埃,还有待于进一步改进。
如果在扫描电镜上加装半导体探测器,
就可以在观察形貌的同时,对感兴趣的部位进行成分分析。
可惜现在只能对原子序数11以上的元素进行定
性或半定量的成分分析。
为扫描电镜开展微区结构分析工作开拓了一条新的道路。
为了完善仪器的综合分析性能,不少将电子探针和扫描
电镜进行组合。
由于材料综合分析的需要,这类仪器的发展有互相渗透
的趋势,逐渐发展成为能同时进行微区形貌、晶体结构、化
学成分分析的综合性仪器。除此以外,还相继诞生了离子探
针、激光探针等。总之,观察微观世界的仪器,随着科学本
业的不断发展,将不断改进完善,微观世界的奥秘将一一被
揭开。