目的
加热的目的是检查在试件中是否有因暴露在高温下而发
生变化的情况。
偏压的选择方法因试件不同而异,如果将接合部的反偏
压选为其额定破坏电压的约75%,这对查明污染的氧化物带
来的问题最为合适。
在将试件开封之后,再次进行加热(在附加偏压或不加
偏压的状态下)。其程序可仿照上述程度,但是,要注意不要
使外部的污染进入试件内部。用于各种用途的恒温箱的内部,
如果不进行定期清扫特别容易受污染。
利用真空恒温箱的真空加热能有效地去除污染。特别是
渗透在试件局部(尤其是试件内部)的污染,.只是加热到高
温是清除不掉的,而利用真空则可除掉。