采用使试样表面每一点都可以整个照射的方法
采用使试样表面每一点都可以整个照射的方法,上述缺点可
以消除,该方法由科勒发明,科勒照明法遵循以下两个准则。
1 、光源通过会聚透镜在聚光器的焦平面上成像,因此,从
一点出发的光线通过聚光器后互相平行,光线和试样(表面)发
生交互作用,通过物镜之后,非衍射的平行光线会在物镜的焦平
面会聚并发生光源的二次成像,在这里,光通过试样发生衍射进
而生成试样的衍射花样。
2 、聚光器可以同时在试样表面形成可变光圈,即在聚透镜
附近的视场光圈,采用这种方法,试样光照部分就可以限制在视
场之内,这样就避免了与视场之外的“虚假”光线发生干涉,这
些光线来自试样的结构特征和
显微镜中透光部分衍射的作用。最
后,可变光圈即孔径光圈被放置在聚光器的焦平面,这就可以控
制照射试样的光线的孔径角,而分辨能力和视场深度取决于孔径
角。