6JA型干涉显微镜的工作原理简介-光学仪器常识
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
干涉显微镜的工作原理与结构
6JA型干涉显微镜的工作原理：光源经聚光镜、干涉滤
光片，再经另一聚光镜，投射到反光镜上，随后通过孔径光阑和视
场光阑，经照明聚光镜投射到分光板把投射在它上面的光束分成
两部分，一部分透过，一部分反射。从分光板透过的光束，经补偿
板被物镜会聚到其焦面处的被测表面(即工件测量面)上。最后被
该表面反射，重新通过物镜和补偿板，到分光板。
另一部分光束从分光板反射到物镜，再到参考镜(即标准镜面
上)，由标准镜面反射后，重新由物镜到分光板。
两部分返回的光束相遇后发生干涉，在无穷远处形成鲜明的
干涉带。调节可调反光镜，将它移到目镜的焦平面上。于是，通过
目镜就能观察刭干涉带及被测表面的影象。
仪器照相时，可以把反光镜从光路中移出，光线就直接在照相
反光镜上反射后射向物镜和照相底片上。
两组物镜是完全一致的物镜。
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