可以测量表面不平度范围为1--0.03μm(相当于光洁度▽10一▽14)。
测量误差大约为5%。
优缺点
优点
(i)光切法和干涉法在测量时都不使用测头,因此不会划伤
零件表面
(ii)可以测出被测表面实际轮廓的谷底,测量精度较高(因
不受测量头大小的影响)
(iii)由于测量仪器(即光切显微镜和干涉显微镜)比轮廓仪
价格便宜,所以使用较广泛。
②缺点
(i)在
光学仪器上不能一次测出许多评定参数的参数值;
(ii)轮廓仪一次可以测出27种参数的参数值;而光学仪器
则要测量几次才能得出一个参数值
(iii)有许多复杂表面无法测量。
印模法也是一种非接触式定量测定表面粗糙度的方法。对某
些大而笨重零件和难以直接测量的内表面(如孔、槽等表面),使用
仪器测量粗糙度很不方便,一般采用印模法测量。当然有时也采
用测量仪器中另外设计的辅助装置或专用测量仪器来测量。
印模法的原理是利用某些块状的塑性材料作为印模,贴在被
测零件表面上,待取下后在贴合面上印制出被测表面的轮廓状况,
然后对印模进行测量,得出粗糙度的参数值。由于印模材料的强
度和硬度都不高,故不能用接触法测量(以免测量力引起印模表面
波纹变化)。因为印模材料不能完全达到被测表面微小不平度的
谷底,测得的印模粗糙度数值总比被测表面实际轮廓的实际数值
来得小。为此,对印模所得出的表面粗糙度测量结果还需要进行修
正。修正系数主要与印模材料有关,通常由实验确定。