显微镜液体计数器检测的最小粒径一般为2微米
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
显微镜液体计数器检测的最小粒径一般为2微米
液体中的粒子测量
很多半导体制造工艺都和液体，例如水、光致抗蚀剂混合液
、溶剂、酸以及其它化学制品有关。一般说，这种液体应尽可能
没有粒子物质，正如空气和其它气体一样，必须测量液体中的粒
子含量，以对过滤装置和过滤技术进行性能检查。 由于液体的
粘性比气体大，因此，从气体沉淀出来的，又大又密的粒子可以
在液体中悬浮相当长的时间。液体过滤后，要保持没有粒子，这
是十分困难的，因为流过容壁或长管所散落的粒子，它的粘性阻
力导致气流去除粒子的力比存在的力要大得多。
光散射与光吸收粒子计数器
散射粒子计数器对液体也是有用的。液体粒子计数器的光学系统
有一个透明窗，以便让光通过液体。 由光电检测器检出液体粒
子散射光，这同用气体粒子计数器检出一样。然而，液体粒子计
数器的噪音电平比气体粒子计数器的噪音电平大，这是因为光束
与传感器窗以及液体介质相互作用的缘故。因此用液体计数器检
测的最小粒径一般为2微米。
因为带有各种色彩、折射率、粘性和蒸发压力的液体可用光
散射粒子计数器测试，所以气体粒子计数器就不存在测量的局限
性。液体的空穴现象、气泡形成、污物或在光学表面形成的气泡
以及粒子的光吸收都是在液体粒子计数中出现的一些问题。如果
采用粒子的光吸收特性作为测量粒径的机理(当然这与米埃理论
完全不同)，那么，这种局限性也就没有多大意义了。
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