为了研究更小尺寸的颗粒物质、显微孔洞或其他显微组织单元,
需要对显微镜进行改进,例如,采用波长比光波短的射线,以提
高其分辨能力。当然,采用这种或那种射线均应具有聚焦的可能
性,就如同我们利用用透镜对光线进行聚焦一样。在发现电子波
动性能后不久,
于本世纪三十年代初开始制成透射式电子显微镜。它与透射式光
学显微镜在
光学系统和成像原理上都极为相似。只是电子显微镜
采用电子光源、电磁透镜和最终在荧光屏上成像。由于电子束波
长和加速电压有关,如当加速电压提高到100千伏时,
电子束波长仅为可见光波长的十万分之一左右,因而电子显微镜
的分辨能力比光学显微镜高得多,目前已达到原子间距尺度。此
外,由于电子显微镜的数值孔径极小,因而大大地提高了垂直鉴
别率(即焦深),物镜焦深可达5000埃左右,经投影镜成像后焦深