高级粗糙度表面一般是经精磨、研磨或抛光
括系统误差和偶然误差。干涉显微的误差分析是很复杂的,
而且每台仪器的测量误差大小也不一样,同一台仪器不同的
人操作,其测量误差也不一样。因此,对每台干涉显微镜要
具体分析其误差。
高级粗糙度,高级粗糙度表面一般是经精磨、研磨或
抛光,其切削痕迹不规则,常常是一些锐利的波峰和波谷组
成,此时物镜的鉴别率直接影响到测量精度。
干涉显微镜的使用方法干涉显微镜应放在无振动、
环境温度稳定和光线较暗的地方。其操作步骤如下:
1)预热测量前要接通电源预热,不预热或预热不充
分,干涉条纹发生漂移造成测量误差。
2)调灯丝 灯丝象应在视场中央,如不在中央则视场内
亮度不均匀,干涉条纹不清晰。
当灯丝象不在视场中央时,则将光栏调整环调至最
大,把孔径光栏全部打开,然后取出目镜从目镜孔中观
察。若看不见灯丝象和物镜光瞳象,则将光源壳体推进或