在工业制品中有许多棒状制品和棒状零件轮廓
测量显微镜
利用样板光栅检测异常部位
在工业制品中有许多棒状制品和棒状零件,迫切要求有能够迅
速而简单地检测出棒状物体表面形状的异常、部分形状变形、划痕
和凹陷等的测量方法.在检测棒状物体例如检查象油缸圆筒面表面
的部分凹陷时,若使用通常的莫尔拓扑测量法进行测量,由于圆筒
面形状形成的莫尔条纹等高线表现的极为明显,而凹陷造成的形状
变化却不能清楚地显示出来.这种情况,可根据圆筒的形状制成样
板光栅,若用它来进行莫尔拓扑测量,就不会形成圆筒形状的等高
线,而只是在凹陷部位产生等高线莫尔条纹.它能简单地检查出凹
陷的部位,并能确定凹陷的形状.图3.66表示用该方法检测铝罐
表面的凹陷部位的例子,该图(a)是用通常的莫尔拓扑法,图(b)是
使用样板光栅的莫尔拓扑测量法.检测灵敏度取决于等高线的间隔
,此时是重.Omm.可以明显地看出使用样板光栅的方法对于检测
凹陷是有用的.(a)使用平面光拦