用干涉显微镜只能检查加工痕迹相互平行的表面
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
用干涉显微镜只能检查加工痕迹相互平行的表面
用干涉显微镜只能检查加工痕迹相互平行的表面，在加工痕
迹方向杂乱的情况下，评判干涉图样比较困难。因此，可用以检
查表面痕迹方向杂乱的显微干涉轮廓仪具有更广泛应用的可能
性。在干涉显微镜的视场中，只能看到被检表面的--tJ,块面积，
显微干涉轮廓仪与此不同，它可以给出沿细长区域内，即狭缝像区
域内的表面轮廓。利用圆柱透镜或光谱棱镜，把照明狭缝的第二
次像在目镜视场中放大成矩形。
显微干涉轮廓仪的基本缺点，是视场照度明显地比干涉显微
镜低得多，因为它不能用在两个方向都扩展的光源，而采用窄的发
光狭缝。除此以外，又因采用两面镜，使仪器的制造和调整变得
复杂。因此，显微干涉轮廓仪不能够取代干涉显微镜，检查有规
则痕迹的表面，采用干涉显微镜还比较合适。
林尼克工型显微干涉轮廓仪做成像生物显微镜上紧凑的附
件。但它未能得到推广应用，因为物镜的孔径和放大倍数都不够
大，不能正确评定被检表面加工痕迹的深度。另外，仪器结构不
能保证干涉图样有足够的稳定度
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