液相和气相外延工艺均能生产高纯度材料材料制备
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
液相和气相外延工艺均能生产高纯度材料材料制备
外延系统的目前趋向
直到最近为止，材料制备中的最重要之点，仍然是朝着均匀
掺杂、高纯度和高质量外延层的方向发展，这就导致了对液相或
气相外延的优点进行比较的大量讨论。目前的趋势是朝着制备更
为复杂的层结构的方向发展，要求生长系统做出大量的动力学响
应——复杂的结、亚微米缓冲区和选择外延。这些要求着重强调
于两种主要方法的不同性能，因而导致更新方法的研究，以获得
满足器件要求的层结构。气相外延和液相外延仍然是最适用的工
业工艺流程。
高纯系统
只要细心操作，液相和气相外延工艺均能生产高纯度材料，
主要的差别在于所用的机械和经济效果。
因为用液相外延可以获得比较快的生长速度，所以可在比较
短的时间内生长出厚层和具有比较高的均匀性——时间过长反应
器就不稳定。然而，气相外延系统凭其能比较容易地同时生长许
多片的特点而得以充分发挥其成批生产的经济优点，并促进了片
与片之间的良好的重复性。
通过液相外延来达到表面完整和厚度控制是比较困难的。液
相外延所具有的剩余杂质似乎与气相外延有所不同。
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