用X射线衍射显微镜研究碳化硅晶体结构
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
用X射线衍射显微镜研究碳化硅晶体结构
在底面的表面上与表面梯阶无关的蚀坑的观察，使我们认为有
这样的一种位错线存在，其柏氏失量在底面之中，而滑动面与底面
成某一角度，为了验证这一假设，用X射线衍射显微术研究了若干商
业碳化硅晶体，这些晶体具有许多蚀坑阵列，它们与蚀坑图谱和相
应的衍射显微照片。看到两种类型的蚀坑，呈现明亮的六方平底蚀
坑和呈现六方角锥蚀砊，习惯上认为只有那些角锥蚀坑才标志着与
表面相交的位错，直接比较蚀坑图文并茂与衍射显微图所示的位错
终点可以验证这一假设，这些晶体的底表面地腐蚀以前是用机械法
打光的，蚀坑往往只在晶体的一个表面上出现，而与它是否光滑无
关，那些没有打光的晶体的两个都可以使用，象实验室生长的晶体
那样，因此，只有那些终止于晶体表面的位错才呈现相应的蚀坑。
每一角锥蚀坑相当于衍射显微照片中的一根黑色短线，它表示通过
晶体的非底面位错线，或者相当于一根黑色长线的终点，它表示准
底面位错与表面的交点，右方之处可以看到一组几乎平行的位错线
与晶体的没有形成蚀坑的底表面相交，因此，并不是所有看到一组
几乎平行的位错线与晶体的没有形成的蚀坑的底表面相交，因此并
不是所有与表面相交的位错线都具有一个相应的蚀坑。
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