1590年荷兰的眼镜商制造了发明了放大二十倍到三十倍
的复式
光学显微镜,而在1665年英国科学家发明制造了
自制复式显微镜,可以观察软木薄片,第一次描述了植
物细胞结构。
1665年荷兰科学家利用小型高倍透镜制作成简单显微镜
,放大倍数达到了三百倍,可以用显微镜观察动物、植
物活体细胞与原生动物,第一次观察到许多单细胞生物。
1932年德国科学家研制成第一台透射电子显微镜,而在
1938年研制成功了第一扫描电子显微镜。
而在1939年生产了第一台商用的透射电子显微镜,而19
65年扫描电子显微镜问世,1959年研制成功第一台透射
电子显微镜。